Introduction
Le HD100Rpompe magnétique à semi-conducteurest un équipement de transfert professionnel-conçu sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs. Doté d'une structure d'entraînement magnétique sans joint, il offre zéro fuite et zéro contamination externe tout au long de son fonctionnement, répondant ainsi pleinement aux exigences de propreté de haut niveau-des ateliers de semi-conducteurs.
Les parties en contact avec le produit de cette pompe magnétique en PTFE pour semi-conducteurs sont constituées de PTFE de haute-pureté, qui résiste à divers produits chimiques semi-conducteurs hautement corrosifs sans précipitation ionique ni perméation du milieu. Il transfère en toute sécurité des produits chimiques spéciaux tels que des solutions de gravure, des solutions de nettoyage et des réactifs de haute-pureté. Le corps de pompe intégralement formé sans-espaces-sans espace avec une surface très-brillante permet un nettoyage en profondeur et empêche efficacement les résidus moyens et la contamination croisée-. En tant que pompe magnétique fiable pour les produits chimiques semi-conducteurs, elle fonctionne de manière constante avec de faibles vibrations et prend en charge un fonctionnement continu de 24 -heures. Largement utilisé dans la fabrication de plaquettes, le conditionnement de puces et les procédés humides de semi-conducteurs, il sert de dispositif central pour le transport de produits chimiques corrosifs de haute pureté dans le secteur des semi-conducteurs.
Schéma structurel du produit
Paramètre technique
Modèle | Interface de tubes | Interface spiraleR-M RX-MRZ-M | Capacité maximale (L/min) | Max.Tête (m) | Poids spécifique | Moteur | Poids (kg) | |||
Entrée (mm) | Sortie (mm) | Entrée/sortie | Dimensions d'accouplement (mm) | 50 Hz/60 Hz | 50 Hz/60 Hz | Sortie (avec) 50 Hz/60 Hz | Phase | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1 ou 3 | 8.1 |
Courbe de performances
Avantages clés
1. PTFE intégralement formé de haute pureté-avec une excellente résistance à la corrosion
Les parties en contact avec le produit de cette pompe magnétique en PTFE pour semi-conducteurs sont intégralement moulées par compression-avec du PTFE épaissi de haute-pureté. Par rapport aux pompes PTFE épissées classiques, elle présente une résistance considérablement améliorée à la perméation de produits chimiques hautement corrosifs et une résistance à la pression plus élevée. Il est entièrement applicable à la livraison à long terme-de solutions de gravure et de décapants à haute concentration-pour semi-conducteurs, et empêche le délaminage, le gonflement et la précipitation d'ions des matériaux.
2. Structure à haut-flux pour une livraison stable
Le module hydraulique personnalisé à haut débit-est conçu pour les lignes de semi-conducteurs-de production en série. Il offre une plage de débit plus large et une pression de sortie stable pour fournir simultanément du liquide à plusieurs lignes de traitement humides, résolvant ainsi les problèmes de hauteur de chute insuffisante et de fluctuation drastique du débit des pompes magnétiques ordinaires dans des conditions de débit élevé.
3. Système d'entraînement magnétique entièrement scellé à charge élevée
Cette pompe magnétique pour produits chimiques semi-conducteurs est équipée de composants de couplage magnétique renforcés améliorés pour une capacité de couple plus élevée. Associé à un boîtier entièrement étanche à la poussière et à la corrosion-, il permet un fonctionnement continu à pleine charge-à long terme-et isole les particules en suspension dans l'air et les gaz corrosifs dans des ateliers-sans poussière pour protéger les pièces principales de la transmission.
4. Conception de cavité sans espace-de grande-capacité-sans espace-
La cavité élargie du HD100R adopte une transition douce optimisée sans coins morts de rétention de liquide. Sa paroi intérieure très brillante-permet un nettoyage en ligne-plus rapide et plus approfondi. Idéal pour la distribution alternative de divers produits chimiques semi-conducteurs, il évite complètement les risques de contamination croisée.
5. Structure résistante aux hautes-pressions pour les conditions de pipeline complexes
Le corps de la pompe et les pièces de connexion sont renforcés pour les hautes pressions, avec une meilleure capacité de charge que les modèles similaires. Il s'adapte aux pipelines complexes, aux livraisons sur de longues-distances et aux pressions fluctuantes des pipelines dans les ateliers de semi-conducteurs, et fonctionne de manière stable, sans fuite ni déformation.
Applications typiques
● Transport sur-longues distances d'acide fluorhydrique à haute-concentration pour la gravure de plaquettes
Le matériau PTFE épaissi intégralement moulé par compression-du HD100R résiste à la perméation à long-terme de l'acide fluorhydrique, évitant ainsi le délaminage et le gonflement de la coque lors du transport à haute pression-sur de longues-distances.
● Alimentation centralisée en liquide pour les lignes de production parallèles de semi-conducteurs par voie humide
Équipée d'un module hydraulique dédié à haut débit-, cette pompe magnétique industrielle à semi-conducteurs présente une atténuation extrêmement faible de la hauteur de refoulement et du débit. Il peut fournir du liquide de manière stable pour plus de trois lignes de production de nettoyage et de gravure indépendantes, remplaçant ainsi le déploiement parallèle de plusieurs pompes magnétiques à petit débit-.
● Transport en circulation alternée de produits chimiques acides-bases diversifiés pour les semi-conducteurs
Avec une cavité élargie et lisse sans-espace mort-et une paroi intérieure très-brillante, il ne laisse aucun résidu chimique après le nettoyage en ligne, empêchant ainsi la contamination croisée-lors de la livraison alternée de solutions de gravure et de décapants, et s'adaptant aux conditions de travail fréquentes de changement de produit chimique.
Dimension(mm)
Modèle | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
FAQ
Q : Lors du transport de produits chimiques sur de longues distances, l'impact des reflux des pipelines provoquera-t-il des fuites et des déformations de la pompe en raison d'une résistance à la pression insuffisante ?
R : Aucune défaillance de pression ne se produira avec une disposition de pipeline standard. Une perte de pression existe inévitablement dans les pipelines de liquide de gravure de semi-conducteurs à longue distance, et un effet de refoulement inverse est susceptible de se produire lors de l'arrêt de l'équipement et de la régulation de la pression des branchements. En tant que pompe magnétique industrielle à semi-conducteurs, la HD100R adopte un renforcement de pression ciblé pour les conditions de travail dans les refoulements sur de longues -distances. Des revêtements renforcés en fibre de carbone sont intégrés au niveau des joints des brides du corps de pompe et des couvercles de pompe, avec une résistance à la pression nominale jusqu'à 1,6 MPa. Il peut compenser la pression d'impulsion dynamique du refoulement du pipeline. Parallèlement, le boîtier en PTFE intégralement moulé ne présente aucun espace d'épissage, ce qui empêche les fissures et les fuites de liquide et permet le transport de produits chimiques semi-conducteurs sur plus de 100 mètres.
Q : Le mode de distribution à haut débit du HD100R réduira-t-il l'efficacité hydraulique ?
R : Aucune atténuation de l'efficacité hydraulique ne se produit dans la plage de débit nominal élevé-. Équipé d'une volute à large section personnalisée-et d'une turbine à vortex faible-inclinée vers l'avant-, le HD100R optimise l'adaptation de la courbure du chemin d'écoulement. Son efficacité hydraulique reste stable au-dessus de 78 % dans toutes les conditions de travail à débit élevé-sans diminution de l'efficacité avec l'augmentation du débit, et garantit une pression de dérivation uniforme pour une alimentation en liquide multiligne-en parallèle.
Q : Où acheter le HD100Rpompe magnétique à semi-conducteur ?
R : Vous pouvez contacter notre équipe commerciale par e-mailjuicy@sxhono.com.cnpour obtenir des spécifications de produits, des devis et des recommandations de sélection. Si vous avez des exigences particulières en matière d’application, nous pouvons également vous proposer des solutions personnalisées de transfert de fluides.
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